| 型式 | HMW-615N-4 |
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| 二手燈 | 低壓紫外線燈 VUV-100/A-5.3U 7燈 |
| 照射距離 | 25毫米 |
| 照射面積 | 400寬×400深 |
| 照射時間 | 任意（最大99分59秒） |
| 廢氣臭氧去除 | 使用臭氧分解過濾器 |
| 外形尺寸 | 700(寬)×800(深)×1447(高) |
【新品上市】 UV照射裝置HMW-615N-4
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這是一種非接觸裝置，在半導體制造工序、液晶基板制造工序等微細圖案形成工序中，對基板表面殘留的有機物照射UV，去除有機污染物。可以在不損壞基材的情況下清潔和修飾表面。 |
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