UV固化照射裝置(液晶面板制造用設(shè)備)
?適用于TFT-LCD液晶面板的貼合工藝,將液晶面板貼合所用的Seal材料,通過UV紫外線的照射在較短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行固化,從而起到了提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本的效果。
- 特征
- 主要用途
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- 高均一性照射
- 由于基板問題變化而產(chǎn)生的變色減少。
- 省略了周邊四角的曝光
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- Tack時(shí)間短
- 利用光學(xué)Filter對(duì)光的控制技術(shù),
- 受損情況小,低溫處理
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- Mask對(duì)位機(jī)能
- 能夠和Pattern進(jìn)行精度較高的對(duì)位,
- 有效的曝光技術(shù)進(jìn)行展開。
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- 系統(tǒng)構(gòu)成
- 設(shè)備本體
- 電源,控制面板
- 循環(huán)冷卻Unit(Lamp冷卻用)
- Mask Work冷卻用冷氣機(jī)??
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- ODF設(shè)備(UV Curing)的構(gòu)造
- 照射部
- Stage部