準分子(Excimer)燈【126nm／146nm／172nm／222nm／308nm】
?封入氙氣的準分子(Excimer)燈，
（誘電體屏障放電Excimer燈）
可有效放射波長180nm以下的VUV，
（真空紫外線）
達到超越以往的化學(xué)反應(yīng)與反應(yīng)速度。
特征：
特征：
?單一波長、低溫處理
因為是單一波長，因此可選擇會引起化學(xué)反應(yīng)的紫外線，
并可達到不使對象物產(chǎn)生非必要反應(yīng)或熱的低溫處理。
?
?高效率
從電力轉(zhuǎn)換為光能源的效率高（172nm型的轉(zhuǎn)換率10%)，即使低電力亦可產(chǎn)生大的能量。
?
?可瞬間亮燈滅燈
僅于必要時照射必要量的能量，因此具備「不需要快門」、
「實際上可延長使用壽命」等各種優(yōu)點。
?
?安裝方向不受限制
燈的亮燈方向不受限制，可配合生產(chǎn)線做立面照射。
主要用途
?HDD光碟洗凈
?阻劑剝離
?阻劑殘渣的剝離
?塑料基板的洗凈
?金屬表面的清洗與重組
?Low-k Cure
?PDP螢光體評估
?分析評估前的洗凈
?氣體分解
?形成氧化膜
?防止帶電?
?乾燥
?玻璃膠膜的貼合
?纖維的改質(zhì)
?有機EL封裝管的接合性提高
?有機EL的工作函數(shù)増加